Vakuumanlagen arbeiten im Unterdruck. Der Unterdruck wird mit einem Injektor erzeugt. Der erzeugte Unterdruck führt die Umgebungsluft durch einen vorgeschalteten Trockner in den Ozonerzeuger. Mittels stiller elektrischer Entladung wird aus dem in der  Luft enthaltenen Sauerstoff Ozon erzeugt und mittels Injektor (Venturi) ins Prozesswasser dosiert.

Spezifikation:

• Leistung: 10 gO₃/h…3 kgO₃/h (grösser auf Anfrage)
• Konzentration nominal: 20 gO₃/m³